东岳集团新建三氟甲烷和八氟环丁烷 进入含氟特气领域

慧正资讯，3月27日，山东东岳化工有限公司40吨/年含氟电子特气材料项目受理公示，项目主要主要建设40t/a含氟电子特气材料生产装置一套，包括年产20吨/年三氟甲烷（电子级）、20吨/年八氟环丁烷（电子级），计划投资1500万，预计2023年10月投产。

这一消息也意味着，东岳集团正式进入含氟特气领域。电子级三氟甲烷、八氟环丁烷是众多含氟电子特气材料之一，是人工智能芯片、超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造的关键基础材料，国内对含氟电子特种气体工业化生产技术存在迫切需求，由于受欧美日韩等发达国家技术严密封锁而导致含氟电子特种气体制备成为一种“卡脖子”技术，应用于28nm以下的高端芯片和人工智能芯片制造的关键材料含氟电子特种气体产品都只能进口，因此，急需通过科技攻关开发出高纯超净、适用性强的含氟电子特种气体系列产品，对于促进我国人工智能芯片国产化有着重要意义。

电子级三氟甲烷

目前，国内生产高纯三氟甲烷的企业较少，有一些企业正处于筹划或研发阶段，主要分为两类：一类为拥有高纯气体生产经验并以气体为主业的气体公司；另外一类是氟化工企业，他们利用具有合成技术或副产三氟甲烷的优势进行提纯研究，希望以此为切入口进入高端含氟气体市场。

尽管国内氟化工企业拥有原料优势，但由于纯度99.999%以上高纯气体与工业级气体的生产技术有着很大的区别，国产三氟甲烷的纯度与进口产品还有一定的差距，因此，国内电子级三氟甲烷几乎全部来自于外资气体公司。

八氟环丁烷，又名全氟环丁烷，化学性质稳定，无毒且无臭氧影响，温室效应低，是一种绿色环保型特种气体，主要应用于高压绝缘、超大规模集成电路蚀刻剂、代替氯氟烃的混合制冷剂、 气溶胶、清洗剂（电子工业用）、喷雾剂、热泵工作流体等。随着蒙特利尔协议的实施和电子行业的飞速增长，八氟环丁烷的作用日趋重要，使用量也在逐年上升，是一种重要的特种含氟气体。

近年来，在制冷、发泡材料、电子电力、化工等领域持续发展的驱动下，中国相关企业加大八氟环丁烷产能布局，尤其是半导体、显示面板等电子产业的快速发展及其所展现出的良好市场前景，刺激华特气体、德尔科技、绿菱气体等企业积极布局高纯八氟环丁烷产业，成为推动中国八氟环丁烷供给量增长的重要动力。

但是，目前国内能生产高纯度八氟环丁烷的厂家不多，在合成和提纯技术方面进展较慢，与国外气体厂家相比还存在较大差距，因此国内相关企业应继续加大研发力度，优化生产工艺，提高产品等级，满足未来市场需求。