绿智赋能，粉动新程 | 兆辉防腐科技陆洪筠：ETFE（F40）粉末涂料在芯片行业中的运用

慧正资讯，9月19日，备受瞩目的“2025年广东省粉末涂料产业高质量发展大会暨广东省粉末涂料产业技术创新联盟年会”在东莞喜来登大酒店盛大举行。本次大会围绕“绿智赋能，粉动新程”的主题，深入探讨了粉末涂料行业的未来趋势、技术创新、政策导向及市场机遇，深度交流与合作，旨在共同探索粉末涂料行业高质量发展的新路径。

本次大会由广东省粉末涂料产业技术创新联盟擎天材料科技有限公司主办，广东省涂料与油墨行业协会联合主办，东莞市爱粤金属粉末有限公司承办，买化塑旗下慧正资讯和慧聪涂料网策划并执行，中国化工学会涂料涂装专业委员会、中国电器科学研究院股份有限公司提供指导。

在会议的技术论坛环节，多位专家学者和行业精英带来了精彩的演讲。

江苏兆辉防腐科技有限公司总经理陆洪筠分享了主题为《ETFE（F40）粉末涂料在芯片行业中的运用》技术报告，其系统拆解该材料在半导体制造领域的技术突破、场景落地与国产化路径，凭借 “性能对标国际、方案贴近产业” 的核心优势，获得与会嘉宾的高度认可与广泛好评。

江苏兆辉防腐科技有限公司总经理陆洪筠

直击芯片制造三重痛点 ETFE（F40）粉末涂料凭四大优势破局

陆洪筠在报告中指出，芯片制造对材料的要求堪称 “工业领域天花板”—— 需同时应对极端温域、强腐蚀环境与超净纯度的三重严苛挑战：长期承受 - 80℃至 220℃的温度循环，工艺中频繁接触 50% 硫酸、40% 氢氧化钠等强腐蚀化学品，且金属离子污染须控制在 10ppb 以内，任何一项不达标都可能导致晶圆报废、良率骤降。

而江苏兆辉研发的 ETFE（F40）粉末涂料，正是针对这些痛点打造的 “定制化解决方案”，核心性能优势凸显

其一，宽温域与耐腐蚀性双优。材料可长期在 - 80℃~220℃范围内保持性能稳定，既适应芯片制造全程的冷热交替，又能耐受 50% 硫酸、40% 氢氧化钠的侵蚀，有效防止设备因腐蚀劣化产生颗粒污染；

其二，超净纯度领先行业。通过全流程离子析出控制，金属离子释放量≤10ppb，且可优化至 5ppb，完全符合 SEMI F57 半导体超净标准，从源头杜绝晶圆污染风险；
其三，结构性能适配生产需求。拉伸强度达 50MPa，远超常规氟材料，确保涂层在严苛工况下不开裂、不脱落；摩擦系数低至 0.15-0.2，能减少晶圆传输中的微划伤；附着力≥5B，与铝、不锈钢等主流基材结合牢固，经反复热循环与化学腐蚀后仍稳定可靠；
其四，电气性能匹配高端设备。介电常数仅为 2.6，可有效降低信号干扰，完美适配 CVD（化学气相沉积）设备的高绝缘需求，减少静电积聚与放电风险，进一步保障晶圆良率。

“三重目标 + 四阶段路径” 推动技术从实验室走向产线

为让 ETFE（F40）粉末涂料真正服务于半导体产业，江苏兆辉在报告中明确了 “三重递进式发展目标” 与 “四阶段实施路径”，确保技术落地可感、可控、可复制。

三重目标直指产业核心需求：技术层面，进一步优化配方实现金属离子≤5ppb，同时适配铝、不锈钢等多种基材，提升工艺兼容性；市场层面，计划三年内进入 2 家以上主流 FAB 厂（晶圆制造厂），完成批量供货验证，实现国产替代市场份额突破 15%，覆盖蚀刻、CVD 等核心工艺环节；产业层面，联合设备厂商、材料商与检测机构共建协同生态，推动涂层工艺与设备设计一体化优化，构建从树脂原料到终端涂装的完整国产链条。

四阶段实施路径则为目标落地划定 “时间表”：
1-6 月为 “试点期”，聚焦蚀刻槽与药液管道两大核心场景，投放 5-10 吨样品开展小批量测试，重点验证耐腐蚀性与离子释放水平；
7-12 月进入 “验证期”，在主流 FAB 厂真实产线开展 3 个月连续运行验证，监测金属离子释放、颗粒脱落率等关键指标，为批量导入积累权威数据；
13-24 月为 “推广期”，将技术拓展至晶圆传输带、CVD 炉管等场景，同步建成 50 吨 / 月的自动化生产线，与 3 家主流 FAB 厂建立稳定供货关系；
25-36 月进入 “规模化期”，目标进入国内 TOP10 晶圆厂产线，并依托性价比与快速服务优势，切入东南亚 FAB 厂供应链，形成规模效应以降低单位成本。

五大场景显实效 全链条保障筑牢竞争壁垒

报告中，陆洪筠还分享了 ETFE（F40）粉末涂料在五大关键场景的落地成效：在晶圆传输系统中，涂层应用于支撑垫与传输带，使划伤率≤0.1%，传输稳定性提升 20%；在蚀刻清洗装备领域，可将设备寿命延长至 3 年，颗粒污染降低 30%，减少停机维护频次；在药液输送存储环节，管道与阀门的金属离子释放≤5ppb，完全符合 SEMI F57 标准；在 CVD 炉管与载具上，维护周期从 6 个月延长至 12 个月，显著降低运维成本。

为应对产业风险，江苏兆辉还构建了全链条保障体系：技术迭代方面，联合高校预研 3nm 级高纯配方，提前布局金属离子≤2ppb 标准，并同步推进专利布局；市场竞争方面，产品价格较进口同类产品低 20%-30%，且在长三角、珠三角设立技术中心，实现 48 小时内现场响应；供应链安全方面，与国内氟材料龙头巨化股份签订长期供应协议，建立 3 个月安全库存，杜绝原料断供风险。此外，公司还通过 “原料全检 + Class 1000 洁净生产 + 出厂 30% 抽检 12 项指标” 的品质管控，以及与巨化、东岳、SGS 等共建的产业链联盟，确保产品从研发到应用的每一环都可靠可控。

赋能半导体国产化 技术方案获行业广泛认可

“ETFE（F40）粉末涂料的价值，不仅是一款材料的突破，更是为半导体材料国产化提供了‘可落地、可复制’的路径。” 陆洪筠在报告结尾强调。与会行业同仁纷纷表示，该技术方案既解决了芯片制造的实际痛点，又契合国家推动半导体产业链自主可控的战略方向，尤其是 “性能对标国际、成本贴近国内、服务快速响应” 的组合优势，为粉末涂料在高端制造领域的应用开辟了新赛道，也为半导体产业降本增效、提升供应链韧性提供了有力支撑。

江苏兆辉防腐科技有限公司自成立以来，始终聚焦高端防腐材料与高性能氟聚合物的研发、生产及应用，尤其在半导体、新能源等战略新兴产业的关键材料领域持续攻坚。面对国内半导体关键材料长期依赖进口（超 70% 核心材料需境外供应）、供应链安全面临挑战的行业痛点，公司将 “推动高性能氟材料国产化替代” 作为核心战略，组建专业研发团队深耕 ETFE（F40）粉末涂料技术，通过分子结构优化、制备工艺革新与场景化测试验证，实现产品性能全面对标国际领先水平，为构建自主可控的高端材料供应链体系提供了关键支撑，目前已成为国内半导体用高纯氟涂层材料领域的重要技术输出方。

未来，江苏兆辉将继续以技术创新为核心，深化与产业链上下游的协同，推动 ETFE（F40）粉末涂料在更多半导体场景的应用，助力中国半导体制造向更高精度、更低成本、更强韧性迈进。

本次大会还得到了东莞市美宸纳米材料有限公司、广州市泽和化工材料研究开发有限公司、六安捷通达新材料有限公司、烟台东辉粉末设备有限公司、浙江鑫八佰科技有限公司、广东顺景软件科技有限公司、赢创特种化学（上海）有限公司、江西运昌新材料有限公司、东莞市索是新材料有限公司、烟台欧冠粉末设备有限公司、山东福高环保科技有限公司、鹤山市星玥高分子材料有限公司、东莞市启天仪器有限公司、烟台万亨智能设备有限公司、佛山市客临登新材料有限公司、厦门三友德材料开发有限公司、烟台凌宇机械有限公司等众多协办单位的鼎力支持与积极参与。